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了解一下擴散硅壓力傳感器的原理及特點
發(fā)布時間： 2020-06-08 點擊次數(shù)： 1216次擴散硅壓力傳感器我們大多數(shù)人聽這個名稱應(yīng)該感到很陌生，其實壓力傳感器是一種可以用于鋼鐵、化工等領(lǐng)域?qū)毫M行測量，與壓力調(diào)節(jié)儀配套使用可實現(xiàn)壓力自動控制。部分朋友可能對擴散硅壓力傳感器工作原理、應(yīng)用、使用注意事項不太了解，下面小編就來具體給大家說說擴散硅壓力傳感器。擴散硅壓力傳感器是利用壓阻效應(yīng)原理，采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過摻雜、擴散，沿單晶硅片上的特點晶向，制成應(yīng)變電阻，構(gòu)成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在同一切硅材料上進行各向異性微加工，就制成了一個集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測于一體的擴散硅傳感器。
擴散硅壓力傳感器的特點
1、適合制作小量程的傳感器
硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應(yīng)在零點附近的低量程段無死區(qū)，制作壓力傳感器的量程可小到幾個Kpa。
2、輸出靈敏度高
硅應(yīng)變電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變計高50～100倍，故相應(yīng)的傳感器的靈敏度就很高，一般量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求，使用比較方便。
3、精度高
由于傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測三部分由同一個元件實現(xiàn)，沒有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，重復(fù)性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大，變形很小，保證了良好的線性。
4、由于工作單性形變低至微應(yīng)變數(shù)量級，彈性芯片大位移在亞微米數(shù)量級，因而無磨損，無疲勞，無老化，壽命長達1×103壓力循環(huán)，性能穩(wěn)定，可靠性高。
5、由于硅的優(yōu)良化學(xué)防腐性能，即使是非隔離型的擴散硅壓力傳感器，也有相當(dāng)程度的適應(yīng)各種介質(zhì)的能力。
6、由于芯片采用集成工藝，又無傳動部件，因此體積小，重量輕。
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